毛军发院士 | 基于基片集成波导的高速电子系统互连技术
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摘要
作者: 李晓春 毛军发*
上海交通大学
人类社会正迎来大数据时代, 对数据传输速率的要求越来越高, 迫切需要发展高集成度、高速率的新型互连技术, 满足每秒太比特甚至更高速率数据传输需求. 传统平面集成互连技术, 如微带线、带状线、共面波导等, 采用开放式结构, 受带宽与损耗限制, 其时延、衰减、串扰等信号完整性问题在数据速率达到每秒吉比特以上时非常严重, 无法满足传输需求.
为了提高传输速率, 在传统互连技术基础上, 可采用串行链路与差分技术, 均衡与预加重技术等, 但仍无法从根本上解决互连的高速数据传输问题. 基片集成波导技术作为一种新型的平面集成互连结构, 兼具传统平面集成互连的易集成与波导的宽频带、低损耗与低串扰优点, 近些年来逐渐在高速互连技术中得到应用, 实现了高速率的数据传输.
本文详细介绍了各种新型基片集成波导互连的物理结构与传播特性、传输模式与机制, 以及已实现的数据传输速率, 其中包括了作者近几年的一些最新研究成果.
按照传输模式不同, 基片集成波导互连主要可以分为3 类: TE 模式的基片集成波导互连(SIW)、TEM 模式的基片集成同轴互连(SICL), 以及混合模式的基片集成波导互连. TE 模式SIW 互连为带通信道, 需对基带信号进行调制方可进行传输. SIW 互连系统引入调制技术增加了传输复杂度, 但多种调制技术的灵活运用可以增加信道利用率, 从而提高数据传输速率. SICL 互连采用TEM 模式, 不需调制解调, 并且准封闭式结构保证了良好的信号完整性. 混合模式的SIW 互连通过共享导体或介质, 集成了SIW 与其他结构互连, 可同时传输TEM 模式与TE10 模式.
按照物理通道数分类, 基片集成波导互连又可分为单物理通道单路信号传输、单物理通道多路信号并行传输、多物理通道多路信号并行传输. 单物理通道单路信号传输, 采用单个物理信道, 基于单模或多模方式传输一路信号. 单物理通道多路信号传输, 则采用单个物理信道, 通过多种模式或复杂调制技术传输多路信号. 多物理通道多路信号并行传输, 采用多个物理信道, 基于单模或多模方式并行传输多路信号. 各种新型基片集成波导互连的提出, 为实现高速率的数据传输提供了关键技术与解决方案.
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毛军发, 1965年8月生, 1985年在国防科技大学获学士学位, 1988年在中国科学院上海原子核研究所获硕士学位, 1992年在上海交通大学获博士学位, 然后留校工作至今. 1994~1996年在香港中文大学和美国加州大学伯克利分校各做了1年博士后研究. 现任上海交通大学副校长、讲席教授. 毛军发是中国科学院院士、教育部“长江学者奖励计划”特聘教授和创新团队学术带头人、国家杰出青年科学基金获得者、国家自然科学基金委创新研究群体带头人、973首席科学家、中国电子学会会士、微波分会主任委员、IEEE Fellow、2015 IEEE Fellow Committee Member. 毛军发长期研究高速电路互连、射频电子三维封装及电磁兼容与防护, 获国家自然科学二等奖、国家技术发明二等奖、国家科技进步二等奖、何梁何利科学与技术创新奖各1项. 发表学术论文400多篇, 其中IEEE刊物论文120多篇,《电子学报》论文15篇, 国际学术会议论文150多篇, 出版研究专著2本, 获授权发明专利30项.
建立了认识集成电路互连信号完整性问题的特征法方法体系, 提出了解决问题的新技术方案, 产生了重要国际学术影响.
随着工作速度提高, 集成电路中脉冲信号的频谱进入微波毫米波波段, 信号在互连传输时产生时延、幅度衰减与串扰噪声等电磁波效应, 信号的完整性受到破坏, 使电路性能指标下降甚至不能工作. 这就是"互连信号完整性"问题, 必须分析处理. 由于高速互连具有分布参数, 而传统电路理论只针对集总参数, 因此需要新的理论方法. 毛军发建立了特征法方法体系, 认识了互连信号完整性问题的产生机理和表现规律, 解决了通过实验测量建立互连模型、频变参数互连时域分析、互连电路灵敏度分析、高速脉冲信号成形多个难题, 被权威专家在引文中评价"新方法"、"可用于最广泛情形互连分析"、"灵敏度分析的基础性工作"、脉冲成形的"两种标准工具之一", 用于Cadence、Intel与华为互连建模和斯坦福大学磁盘驱动脉冲设计. 提出互连多目标优化设计思想, 得到了45∼130纳米工艺互连最优设计参数, 被跨国公司Mentor和剑桥大学等用于7种高速互连设计, 综合性能提高30%以上. 发现碳纳米管全局互连时延只有相应铜互连20%等重要性质, 成果连续3次被《国际半导体技术发展路线图》引用采纳, 指导互连新技术发展. 发明了一种毫米波新互连, 数据率1.35 Tbps, 为当时报道的电互连数据率国际最高纪录, 且不需调制解调, 已在华为公司高速产品试用.
解决了射频电子三维集成封装无源元件小型化、多物理特性协同分析设计的一些关键问题, 成果用于我国重点型号产品.
射频电子三维封装具有功能强、尺寸小、带宽大、功耗低等优点, 但由于其三维多尺度复杂结构、多工艺高密度混合集成, 分析设计面临新挑战. 毛军发院士提出了多种无源元件设计新原理、新结构, 以及用一个元件实现多种功能的一体化设计新思路, 发明了一系列可在射频电子封装中集成的微波无源元件, 性能提高的同时面积可减小一个量级. 一种滤波器被引文评价为"用最小尺寸实现了更大带宽", 一种功分器被评价为"功分器首次具有带通滤波功能". 无源元件用于我国重要射频前端研制. 提出了三维封装电、热、应力多物理特性协同分析设计思想和相应多物理场算法, 建立了三维封装电、热、应力协同分析设计工具平台, 用于我国重要射频电子系统设计. 合作研制出一种X波段雷达前端和C波段三维收发组件, 用于我国重要雷达.
基于基片集成波导的高速电子系统互连技术.
李晓春, 毛军发.
中国科学: 信息科学, 2018, 48: 1165-1182
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